x-ray无损检测技术为半导体领域提供解决方案

2022-03-04

半导体组装和封装过程中选择的质量检测方法通常包括目视检查、自动光学测试、飞针测试、针床测试和功能测试。然而,随着封装技术的不断发展,传统的测试方法早已无法满足各种先进封装设备的测试要求。以半导体芯片封装为例,CSP的种类越来越多,包括柔性封装、引线框架、刚性基板、网格引线和微调CSP。不同的CSP结构不同,但技术基本都是基于翻转芯片键合(FCB)和球栅阵列(BGA)。

首先,倒装芯片焊接技术的电连接方式有三种:焊球凸块法,热压焊接法和导电粘合剂。无论采用哪种方式,在封装过程中都是看不到不均匀连接的。此外,在封装过程中,长时间暴露在空气中容易引起氧化,所有的连接点都可以出现裂纹、无连接、焊点间隙、电线和电线过剩压力焊接缺陷连接焊点。以及模具和连接界面的缺陷等。此外,在封装过程中,硅晶片还会由于压力而产生微裂纹,并且胶水还会通过导电胶产生气泡。这些问题将对集成电路的质量产生不利影响。

通常情况下,如果这些表面缺陷是不可见的,传统的检测技术无法区分它们。传统的电气功能测试需要对测试对象的功能有清晰的了解,需要非常专业的测试技术人员。此外,电功能测试设备测试成本非常复杂,测试的有效性取决于测试人员的技术实力,这给集成电路的封装和测试带来了新的困难。

 

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因此,为了有效解决2D和3D封装过程中的内部缺陷检测问题,与上述检测方法相比,x-ray检测技术更具优势。为了提高“一次通过率”,实现“零缺陷”的总体目标,x-ray检测提供了更有效的故障排除方法。

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