超声波扫描显微镜SAM 600

产品类别:超声波扫描显微镜C-SAM

产品型号:S600

产品描述:

超声扫描显微镜(SAT)是一种利用超声波为传播媒介的无损检测成像设备,主要利用高频超声波,对各类半导体器件、材料进行检测,能够检测出样品内部的气孔、裂纹、夹杂和分层等缺陷,并以图形的方式直观展示。在扫描过程中,不会对样品造成损伤,不会影响样品性能,可有效满足新能源、半导体、电力电子、热管理材料、金刚石复合材料、碳纤维复合材料等行业需求。

服务热线:400-630-6556

  • 产品介绍
  • 产品参数
  • X-ray成像

产品特点:

1、具备A(点扫描)、B(纵向扫描)、C(横向扫描)、透射扫描(需配置透射扫描单元及接收探头选项)、多层扫描、Tray-托盘扫描,厚度测量等系列扫描模式。

2、具备定量测分析功能,以图像方式直观显示被测件内部缺陷的位置、形状和大小,并进行缺陷的尺寸和面积统计,自动计算缺陷占所测量面积的百分比;具备缺陷尺寸标识;厚度与测距等功能。

3、具备图像着色功能,可根据相位翻转自动着色;可根据灰度等级手动着色;可根据厚度变化,自动着色;

4、适用于单个器件的快速扫描分析,也可批量放置样品同步进行缺陷识别,快速筛选出不合格品。

5、可兼容1~230MHz的超声探头。

6、检测软件自主研发,中英文界面,可根据客户需求对功能进行持续升级。

行业应用:

锂电池、塑封IC、光电器件、微波功率器件、MEMS器件、倒装芯片、堆叠Stacked Die、MCM多芯片模块、金刚石复合片、电器焊接件、陶瓷材料等。

产品参数


       序号 
机电特性 规格型号
1 整机尺寸   1000mm×900mm×1400mm 
2 水槽尺寸 620mm×650mm×150mm
3   有效扫描范围  350mm×300mm×100mm
4   [敏感词]扫描速度  600mm/s
5 超声探头   可兼容1~230MHz的超声探头。 
6 定位精度 X/Y≤±0.5μm,Z≤±5μm
7   重复定位精度  X/Y≤±0.01mm,Z≤±0.02mm


产品主要配置表


       序号 
名称 规格
1 扫描系统   X轴:直线电机驱动;Y轴:伺服电机驱动;Z轴:步进电机驱动 
2 水槽 620mm x 650mm x 150 mm
3   超声发射、接收器  带宽1-65MHz
4   高速数据采集卡  采样频率 500MHz
5 工控机 i5处理器、内存16GB、硬盘1T、Win10 64位操作系统。
6 显示器 两个27"液晶显示器
7 检测软件 艾兰特超声无损检测软件

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