超声波扫描显微镜SAM 500

产品类别:超声波扫描显微镜C-SAM

产品型号:S500

产品描述:

超声扫描显微镜(SAT)是一种利用超声波为传播媒介的无损检测成像设备,主要利用高频超声波,对各类半导体器件、材料进行检测,能够检测出样品内部的气孔、裂纹、夹杂和分层等缺陷,并以图形的方式直观展示。在扫描过程中,不会对样品造成损伤,不会影响样品性能,可有效满足新能源、半导体、电力电子、热管理材料、金刚石复合材料、碳纤维复合材料等行业需求。

服务热线:400-630-6556

  • 产品介绍
  • 产品参数
  • X-ray成像

产品特点:

1、 具备A(点扫描)、B(纵向扫描)、C(横向扫描)、透射扫描(需配置透射扫描单元及接收探头选项)、多层扫描、Tray-托盘扫描,厚度测量等系列扫描模式。

2、 具备定量测分析功能,以图像方式直观显示被测件内部缺陷的位置、形状和大小,并进行缺陷的尺寸和面积统计,自动计算缺陷占所测量面积的百分比;具备缺陷尺寸标识;厚度与测距等功能。

3、 具备图像着色功能,可根据相位翻转自动着色;可根据灰度等级手动着色;可根据厚度变化,自动着色;

4、 适用于单个器件的快速扫描分析,也可批量放置样品同步进行缺陷识别,快速筛选出不合格品。

5、 可兼容1~230MHz的超声探头。

6、 检测软件自主研发,中英文界面,可根据客户需求对功能进行持续升级。

行业应用:

适用于塑封IC、光电器件、微波功率器件、MEMS器件、倒装芯片、堆叠Stacked Die、MCM多芯片模块、金刚石复合片、电器焊接件、陶瓷材料等领域的缺陷分析。


产品参数


       序号 
机电特性 规格型号
1 整机尺寸   750mm×700mm×1350mm 
2 水槽尺寸 350mm×220mm×120mm
3   有效扫描范围  260mm×25mm×50mm
4   [敏感词]扫描速度  300mm/s
5 超声探头   可兼容1~230MHz的超声探头。 
6 定位精度 X/Y≤±1μm,Z≤±10μm
7 重复定位精度 X/Y≤±0.01mm,Z≤±0.02mm


产品主要配置


       序号 
名称 规格
1 扫描系统   X、Y轴:伺服电机驱动;Z轴:步进电机驱动; 
2 水槽 350mm x 220mm x 120 mm
3   超声发射、接收器  带宽1-65MHz
4 高速数据采集卡 采样频率 500MHz
5 超声探头 配50MHz0.5in探头一只;透射模组一套; 
6 工控机   i5处理器、内存16GB 、硬盘1T、Win10  64位操作系统。 
7 显示器 21.5"液晶显示器一个
8 上下水系统 手动控制水槽系统的注排水过程(选配)
9 检测软件 艾兰特水浸超声快速检测软件

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